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新型SiC基MOSFET器件结构 待解决

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  • 学科领域:电子信息技术
  • 需求类型:技术难题
  • 用户姓名:总站
  • 所在地:江苏省苏州张家港市
  • 投入预算: 150

需求详情

新型SiC基MOSFET器件结构为紧凑型碳化硅基MOSFET的元胞、终端和多层复合型栅结构。 需要优化碳化硅基MOSFET设计及工艺流程,降低单位面积导通电阻Ronsp≤4mOhm*cm2,同时提高产品生产成品率达90%;提高栅源间耐负压的能力BVgs达到-10V,配合国产衬底及外延材料的验证,实现器件材料用国产化;进一步改进硅基功率MOSFET的高温漏电的特性,使产品达到工业级标准。 (来源:中科院苏州育成中心、苏州市生产力促进中心)
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