一种基于PID在线标定机床的超高精密伺服驱动系统，以另外的超高精度三维定位仪，充分发挥其超高的绝对位置的定位精度、超高的几何解析能力，在线安装在超高精度的伺服驱动器或机床系统上，并由此超高精度三维定位仪所测得的绝对位置参数与当前设置的位置参数比较，计算获得至少原伺服器的三个PID校正系数，然后输出至精密机床的各电机的伺服驱动系统，用于各电机的伺服系统的PID系数校正，并实现新的PID值，由各电机的PID控制伺服驱动，并对各电机的运动参数进行超高精密的运动控制及启停，最终实现超高精密机床系统加工出来的零配件精度达到超高精度。 本方案核心技术是应用“宽静态”组合式高精度静态PID的方法来去矫正另一套PID系统如本文所述的机床的精度保障系统，图1三个PID控制环，简单的讲即为一个静态的高精度PID环去控制另外的动态的低精度的PID环的技术。实质上就是用一个高精度的尺子去校准和标定一个低精度的尺子而让目标的运动即加工参数的精度达到极高的指标。 最终实现超高精密机床系统加工出来的零配件精度达到±1″、±1μm 甚至0.05um、0.05″的超高精度。