本发明公开了一种检测铁电薄膜微波介电特性的装置，该装置包括基片，基片上覆盖有待测铁电薄膜，待测铁电薄膜上设有共面波导线，该共面波导线包括主传输线和主传输线两侧被缝隙隔开的接地面，所述待测铁电薄膜上还设有1/4波长共面开路线，该1/4波长共面开路线包括传输线和传输线两侧被缝隙隔开的接地面，传输线末端为开路端，该传输线与所述共面波导线上的主传输线相连接。由于本发明的共面波导线上连接有1/4波长共面开路线，利用1/4波长共面开路线所形成的谐振峰可方便地得到待测薄膜的介电特性，并且利用平面工艺可以一次形成检测铁电薄膜时所需要的图形。因此，与现有技术相比，本发明的技术方案结构原理简单、器件制作及装配容易、方便实用。
