透射电镜原位等离子态样品杆

应用领域：装备制造
技术领域：先进制造技术
技术成熟度：可以量产
交易类型：完全转让,许可转让,技术入股,合作开发
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成果详情

应用方向：

可广泛应用于材料科学、化学化工、生物制药等分析表征研究领域。

领先水平：

是目前世界范围内，唯一一种能在等离子体条件下从纳米尺度原位分析各种先进能源材料、电子材料、生物材料的合成制备机制、成分-组织-性能关系、生物反应等的分析装置。

对哪些地区和那些企业进行推广和示范，并描述示范效果：

透射电镜原位等离子体态样品台由样品杆和反应室组成，与JEOL、FEI、Hitachi等透射电镜有很好的设备兼容性。该样品台装备有一对由SiNx自支撑膜组成的全封闭式/流动式微型等离子体态反应室，可使用各种反应气体，气压可在760Torr-mTorr范围内变化，反应室最大高度400μm，容积连续可调，观察区域面积25×25~100×100μm2，可使用直流/射频电源，最大外加偏压800V。

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