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新一代水助激光加工技术

新一代水助激光加工技术


  • 应用领域: 光机电一体化,装备制造
  • 技术领域: 先进制造技术
  • 技术成熟度: 可以量产
  • 交易类型: 完全转让,许可转让,技术入股,合作开发
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  • 成果详情
应用方向:

该技术非常适合进行微细结构的加工,如硅片的划切、医疗器械和电子产品中微结构的加工和MEMS中 的微结构和微零件的加工等。

领先水平:

热影响区小、热残余应力小、微裂纹少;由于冲刷作用明显减少熔融重凝物;对离焦量的变化不敏感,可切割复杂表面材料和多层材料,切缝锥度很小;加工区域的激光能量分布均匀;可加工盲槽(孔)和三维结构。
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