项目简介

在晶体硅太阳能电池应用中，有效的表面钝化可以极大地降低光生载流子的复合速率，从而提高电池的光电转换效率。与此同时，有效的电池陷光结构可以增加入射光在电池内部的光程，提高电池对入射光的吸收率。本项目采用新型的表面钝化和减反技术，拓宽晶体硅电池的工艺窗口，改善工艺稳定性，经济效应和社会效应明显。

技术优势

特点：

无需复杂的表面陷光微结构，结合传统的制绒及薄膜沉积工艺即可拓宽太阳能电池的工艺窗口。

优势：

晶体硅电池通常采用的表面减反技术是：晶体硅表面绒面结构，结合前表面氮化硅(SiNx)减反层。然而，对于传统的SiNx减反层，获得3%~4%平均反射率的SiNx层的厚度窗口约为5nm，采用Al2O3薄膜减反技术，获得3%~4%平均反射率的薄膜厚度窗口可扩大至~20nm。较大的厚度窗口有利于电池制作的工艺稳定性。

另外，晶体硅电池通常采用铝背场结构(Al-BSF)，由于电池背表面复合速率较大，其效率提升受到极大限制。要进一步提高电池效率，需要在电池背表面实现有效的表面钝化。采用Al2O3薄膜表面钝化技术，实现了电池少数载流子寿命的提高和表面复合速率的降低，进而可以提升晶体硅太阳能电池效率。