基于纳米材料的气敏传感器在环保、汽车工业、国防等许多领域有着潜在的用途。根据测量原理的不同,气敏传感器可大致分为半导体气敏传感器、接触燃烧式气敏传感器和电化学气敏传感器等多种类型。
本装置主黠十对半导体式气敏传感器的研发而设计,用来表征纳米半导体材料对不同种类和浓度气氛的电学响应规律,以评价待测材料气敏性质的优劣,主要检测内容包括样品在不同栅压下的气敏响应曲线、样品在不同气氛下的场效应管转移特性曲线和输出特性曲线等等。该装置允 许对最多4个样品进行同时测量,电流测量的最高分辨率为 lO pA ,样品的测量温度可从室温变至 600K。目前,装置的原型机已经制作完成 ,配套软件也已经开发完毕,只是在设备的整体集成方面尚需完善。