基于冷阴极 X 光源的微焦点实时无损检测系统

应用领域：新材料
技术领域：新材料及其应用
技术成熟度：可以量产
交易类型：完全转让,许可转让,技术入股
联系人：汇智科技服务平台
联系信息： 010-82648522

成果详情

随着微电子、精密仪器、光伏能源等领域的飞速发展，针对半导体芯片、精密零部件、太阳能电池、锂电池等器件中涉及微小缺陷（<lOOµm）无损检测的需求日益增长。基于微焦点X 射线的无损检测成像，因为波长短、穿透力强、准直度高等特点，被认为是解决上述问题的重要技术路线。现有微焦点X射线成像技术存在检测速度慢等缺点，且主要被国外企业垄断。通过设计加工新型基于碳纳米材料冷阴极的X射线源并整合脉冲探测成像系统，我们研制出一套具有自主知识权的基于冷阴极X光源的微焦点实时无损检测系统。

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