本发明涉及一种多区驱动的惯性压电马达装置及扫描探针显微镜和控制法,其装置包括滑块、基座、弹簧片、导轨，还包括两个或两个以上的压电体；其多区驱动的惯性压电马达装置制成的扫描探针显微镜是：增设支架，该支架固定于基座上，该支架的一部分正对着所述导轨的导向方向；其多区驱动的惯性压电马达装置的控制方法是，压电体集团中各压电体配备的惯性压电马达驱动电路都同步输出同向推动的惯性压电马达驱动信号；其扫描探针显微镜进行粗逼近控制方法是，压电体集团中各压电体配备的专用惯性压电马达驱动电路都同步输出同向推动的惯性压电马达驱动信号。
