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一种单斜相二氧化钒外延薄膜及其制备方法
应用领域:
新材料
技术领域:
新材料及其应用
技术成熟度:
已有样品
交易类型:
合作开发
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本发明提供了一种单斜相二氧化钒外延薄膜及其制备方法,包括以下步骤:在真空条件下,将钒原子束和氧原子束喷射到衬底上进行反应,外延生长得到单斜相二氧化钒外延薄膜。本发明所制备的单斜相二氧化钒外延薄膜,具有较高的质量和较大的尺寸,而且宏观相变特征显著。
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