新型石墨基高能粒子束降能器设计与制备技术

应用领域：装备制造
技术领域：先进制造技术,新材料及其应用
技术成熟度：可以量产
交易类型：完全转让,许可转让,技术入股
联系人：汇智科技服务平台
联系信息： 010-82648522

成果详情

l 主要技术指标（或参数）： 1、放气率：10-8PaLcm-3； 2、密度：2.2g cm-3； 3、致密度高，粒子透过性能良好。 l 应用领域： 1、针对高能粒子束（质子束）降能； 2、高端真空装备。 l 市场前景：目前复合材料石墨降能器已能实现批量生产，材料性能、质量及其稳定性能满足各类高能粒子降能、超高真空半导体加工设备精密配件（如MOCVD、MBE）等应用领域的要求，性价比优于进口材料。

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