本申请公开一种超导微波纳米谐振腔，包括介质基片、位于介质基片同一表面的两个共面波导地平面、共面波导传输线中央导带线和纳米腔；共面波导传输线中央导带线位于两个共面波导地平面之间；纳米腔位于共面波导地平面区域内，且位于介质基片表面上；其中，纳米腔的线宽为百纳米级别，且纳米腔背离共面波导传输线中央导带线的边上设置有开口。所述开口能够减小纳米腔和共面波导传输线中央导带线组成的电路的电容，从而削弱电容耦合；纳米腔的线宽减小，增强了动态电感，引起更高的特征阻抗，从而增强了超导微波纳米谐振腔与量子系统之间的耦合能力。
