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一种离子束刻蚀时的加工参数确定方法

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  • 应用领域： 其他
  • 技术领域： 其他
  • 技术成熟度： 已有样品
  • 交易类型： 合作开发
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一种离子束刻蚀时的加工参数确定方法

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本发明公开了一种离子束刻蚀时的加工参数确定方法，其包括：预设工件刻蚀的相关参数，其包括：工件一维刻蚀深度曲线与离子束刻蚀速率；将工件一维刻蚀深度曲线进行曲线变化，获得相应的驻留时间曲线；根据所述驻留时间曲线计算快门组件或工件的匀速移动速率，并根据所述匀速移动速率对驻留时间曲线进行坐标变换；对坐标变换后的驻留时间曲线进行分割，获得快门组件中可移动快门相对于快门零位的距离与时间曲线。采用本发明公开的方法，可以快速获得加工面形的加工参数。
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