系列涡旋干式真空泵

应用领域：装备制造
技术领域：先进制造技术
技术成熟度：通过中试
交易类型：许可转让,技术入股,合作开发
联系人：汇智科技服务平台
联系信息： 010-82648522

成果详情

涡旋干式真空泵是一种真正意义上的清洁无油、高效率的真空获得设备，主要应用于集成电路、半导体、医疗、生物制药、食品等领域，解决了真空仪器设备的油污染问题，成为了世界上发展最快的泵种之一。沈阳科仪公司攻克了涡旋型线修正、涡旋盘加工工艺、泵表面处理方法、密封材料、间隙与极限真空关系研究等技术难题，研制开发了具有自主知识产权的涡旋干式真空泵，技术指标达到了国际同类产品水平。该成果不仅实现了替代进口，创造可观的经济效益和社会效益，同时对改善国内供需不平衡，打破垄断，发展民族装备制造业等也将起到积极作用。

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