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一种具有原位测量效果的可拆除式独立真空腔体

一种具有原位测量效果的可拆除式独立真空腔体


  • 应用领域: 新材料
  • 技术领域: 新材料及其应用
  • 技术成熟度: 已有样品
  • 交易类型: 合作开发
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  • 成果详情
本发明提供一种具有原位测量效果的可拆除式独立真空腔体,由主腔体(21)、阀门(22)、法兰(23)、观察窗(24)、离子规(25)、样品架(32)、样品加热装置(33)、磁力杆(34)、吸附泵(42)及其所在小腔体(41)组成。本发明是在超高真空条件转移样品的不锈钢独立腔体,实现类似于原位测量的效果。该腔体可以整合材料生长设备与测量仪器等资源,有效增加不同实验室之间的合作机会。本发明设计简单、成本较低、功能强大,可以给样品进行简单的退火处理。本发明实现了样品生长设备与测试仪器的空间分离,给实验研究与合作带来了更多的可能性。
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