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一种高精度荧光寿命测量装置
应用领域:
装备制造
技术领域:
先进制造技术
技术成熟度:
已有样品
交易类型:
合作开发
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本发明公开了一种高精度荧光寿命测量装置,该装置包括:飞秒级脉冲激光器、第一与第二光学分束器、第一与第二全反镜、显微物镜与光谱仪;其中,所述飞秒级脉冲激光器发射的激光经由第一光学分束器后分为两路光束,并分别通过第一与第二全反镜反射后,经由所述第一光学分束器合并为一路光束;所述一路光束经由第二光学分束器分为两路光束,其中反射光通过显微物镜作用于材料上,产生的荧光被显微物镜收集后由光谱仪测量信号的强度,进而获得荧光寿命。通过本发明公开的装置,提高了测量的精度及测量结果的可靠性。
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