一种基于金属薄膜SPR色散的图像化测量装置和测量方法

应用领域：装备制造
技术领域：先进制造技术
技术成熟度：已有样品
交易类型：合作开发
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成果详情

本发明公开了一种基于金属薄膜SPR(Surface Plasmon Resonance)色散的图像化测量装置和测量方法，实现宽光谱范围内金属薄膜复折射率的成像测量。其特征在于：采用连续谱白光光源，拓宽了光谱的测量范围；另一方面，利用透镜聚焦和光栅分光，将角度和波长在空间以正交的方向分开，由CCD探测光强，可以一次性获得所有波长和角度的SPR反射谱，从而一次性获得整条色散曲线，无需角度或波长扫描，极大地提高了信号获取的速度和光谱取样的精度。实现宽谱范围内的快速、非扫描图像化测量。

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