本实用新型涉及一种用于隔离束源室与质谱的超高真空超薄插板阀。该超薄插板阀的整体厚度小于8mm；包括阀安装件、阀体机构和直线导入器；阀安装件为板状，中部开设有通孔，一侧面设有一对导轨；阀体机构包括阀板，阀板的中部开设有阀孔，上端活动连接着直线导入器；工作时，阀体机构在直线导入器的作用下，沿一对导轨实现上下移动；当阀体机构上移至上止点，使阀孔和通孔重合贯通时，超高真空超薄插板阀为打开状态；当阀体机构下移至下止点，使阀孔和通孔完全不贯通时，超高真空超薄插板阀为关闭状态。本实用新型在不增加样品与电离点距离的情况下，实现了质谱探测器与束源室之间的快速隔离，提升了换样效率，提高了运行精度及稳定性。
