本申请提供了一种控制铁电单晶电致形变取向的方法，将三方铁电单晶(001)面进行斜切，得到斜切后的单晶；将所述斜切后的单晶在外加电场下进行初始极化，然后在外加反向电场下进行极化，得到反向极化后的单晶。本申请采用斜切方式对三方相铁电单晶(001)面进行处理，使单晶表面不再是严格(001)取向；这样在上下翻转电场时，109°极化翻转的比例会增大。本发明通过对(001)取向三方铁电单晶施行简单的斜切工艺，使得表面法向与晶轴不重合，破坏自发极化方向围绕表面法线的对称性，提高109度极化翻转的出现几率，从而对电致形变取向实现了控制。本发明优选加温辅助极化，可实现单一109度畴转路径，利于磁性薄膜/压电单晶异质结等应变调控应用。
