应用电子束法进行烟气处理可达到90%以上的脱硫率和80%以上的脱硝率, 且不产生废物, 被认为是一种最有应用前景的低成本烟气处理工艺。其主要特点是: 能同时脱硫脱硝, 系统简单, 操作方便, 过程易于控制。对不同含硫量的烟气和烟气量的变化有较好的适应性和负荷跟踪性, 副产品为硫酸氨和硝酸氨混合物, 可用作化肥，脱硫总体成本低于常规方法。近物所已具备了大功率电子加速器的设计及制造技术，可以为电子束烟气处理系统提供关键处理技术和设备。
除此之外，利用电子加速器还可用于谷物、薯类、药材等的杀虫灭菌；医疗器材的消毒；热收缩管、片材料的加工；涂层固化；半导体改性。