技术指标
中科院固体物理研究所研究团队通过对纳米材料和微加工技术的有机融合,发展了一种基于有序纳米结构阵列的电阻型气体传感器。以酒精气体为例,该类传感器检测极限达10ppb量级,响应时间在1秒量级,制造重复性和器件一致性好,可实现规模化生产,综合性能优异,可用于物联网用传感器;特别的,该类传感器对沙林等生化毒剂显示出优异的敏感特性和选择特性。目前,他们已获得该类传感器样机,实现了器件和功能应用的集成。
应用领域
由于该类传感器的高综合性能,它可应用于几乎所有的单机传感器领域,特别是针对某些需要快速和高灵敏探测的高端领域;此外,该类传感器综合性能优异,制造重复性和器件一致性好,可望实现传感器网络化和系统集成,可用于某些大型活动场所和集群的综合气体传感和安全监控。