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高精度谐振式MEMS压力传感器
应用领域：
电子与信息
技术领域：
先进制造技术
技术成熟度：
通过中试
交易类型：
合作开发
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在国家863计划、预研、新品、北京市科技计划重大项目、气象局公益专项等资助下，电子所自1997年开始率先在国内开展谐振式MEMS压力传感器研究，先后研制出电热激励/压阻检测、电磁激励/磁感应检测、静电激励/电容检测三种谐振式MEMS压力传感器，突破了传感器结构设计、MEMS加工工艺、圆片级真空封装、低应力组装、闭环谐振电路、检测仪表等关键技术，并在实验室条件下实现了小批量试生产。
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