欢迎来到喀斯玛汇智科技服务平台

服务热线: 010-82648522

首页 > 成果推荐 > 成果详情
硬脆材料超精密孔/边加工技术

硬脆材料超精密孔/边加工技术


  • 应用领域: 装备制造
  • 技术领域: 先进制造技术
  • 技术成熟度: 可以量产
  • 交易类型: 许可转让
  • 联系人: 汇智科技服务平台
  • 联系信息: 010-82648522
  • 成果详情
随着现代光学技术的不断成熟和进步,光学系统越来越复杂。一方面,带孔的光学元件在现代光学系统中越来越发挥着着独特作用,例如激光谐振腔的输出刮刀镜(通常是椭圆孔)、中大型反射式系统的主次镜芯孔(常见阶梯孔)以及特殊用途的光学元件准直孔(一般孔径比较小)等。另一方面,受特殊通光孔径的限制,各种异形的光学元件从常规的圆形光学元件到椭圆形、八边形光学元件,甚至三角形、星形光学元件等层出不穷。这类元件材质通常是单晶硅、石英以及玻璃类的硬脆材料,在进行通孔、盲孔以及特殊外轮廓的加工时,面临一定的工艺难题,具体有:  孔/边周围的崩边难以处理;  由于工艺所限,孔径、孔定位和孔的轴线公差控制难度高;  异形轮廓边的光学元件尺寸精度难以保证;  有孔材料和特殊轮廓边的光学元件,特别是异形孔和异形轮廓边光学元件的后续抛光工艺更加复杂,面形精度和表面质量控制困难。 本课题组在特殊应用背景下,开发了特殊工艺,可实现各种异形孔以及异形轮廓光学元件的加工任务,同时保证光学元件极高的面形精度、表面粗糙度和表面光洁度水平。
  • 我要咨询
官方客服(周一至周五:8:30-17:30) 010-82648522