本台设备是面向电力电子器件和生物化石应用仪器样机。目前电力电子器件多数为印刷电路板上焊接元件的形式，而大自然中的生物化石由于岩层挤压的缘故多数亦为板状，传统同轴CT系统在板状样本扫描中存在侧方难以穿透的问题，而采取CL扫描方式可以较好的解决这一问题。本系统设计已申请发明专利。 设备性能： 实现了大型板状样本的高分辨CL扫描方式。 实现了高分辨率下的大视野扫描。 样本空间自由度大，扫描样本大小限制较小。 扫描倾角和样本运动自由度高，可实现多种扫描形式。 已实现直线式CL扫描，旋转式CL扫描和平移式DR扫描。 指标 数值 扫描模式 板状断层扫描（CL） 直接数字成像（DR） 最大样品尺寸 500mm×500mm 面内空间分辨率 1～20μm 倾斜角 ≤65° 探测器像素大小 127μm Max. kV 160/225 Max. mA 1.0