一、简要综述 准分子激光器作为紫外激光光源，在光刻、精细加工、激光医疗（如激光近视校正等）、科研（材料制备、光谱技术等）等领域有着广泛的应用。 我们从80年代开始进行准分子激光器的研制。实用化准分子激光器的研制成果曾获中科院科技进步2等奖和3等奖。曾经承担了中科院准分子激光器的攻关课题。目前承担了国家重大科技专项中的半导体制造设备的准分子光源部分的研究课题。 安徽光机所是国内最早从事准分子激光器研制的单位之一，也是目前国内唯一一家能够提供准分子激光器产品的单位。 二、具体介绍 1、 应用领域 光刻、精细加工、激光医疗（如激光近视校正等）、科研（材料制备、光谱技术等）等领域。 2、 技术指标 目前可以提供光刻、精细加工、激光医疗、科研用中小型准分子激光器系列 输出能量 1-500mj 脉冲频率 1-100Hz可调 激光波长 193nm/248nm/308nm 3、 创新内容 国内唯一一家掌握准分子激光器从电源到激光器的整体技术的单位。主要创新内容包括：新型准分子激光器放电开关；高效激光腔体设计；相应的配套技术等。 4、 成熟程度 技术成熟度高。产品也已成熟。一些应用领域已经开始供应市场。 5、 应用前景 准分子激光器市场份额在2008年的全球激光材料加工市场中占19%（来源Optec Consulting）,近5亿欧元。 目前国内准分子激光器多用于加工、医疗和科研。具有广泛市场。而准分子激光器几乎全部来自进口。我们由于缺乏资金，以及没有相应的市场和商业运行模式，每年只能少量的向市场提供我们的产品。 6、 投资规模 根据目标设定决定投资规模。 目前国内市场几乎都被进口准分子激光器占有。视准备挤进市场的份额（国内、国外）决定投资规模。 先期成果转化和进行小型化生产所需投资在100万元左右。