激光清洗是近年来新兴的清洗技术，它利用激光的方向性和高亮度，通过光剥离、光分解等原理清除材料表面的污染物，其具有低损伤、零排放、无污染等优点，在微电子元件、文物和艺术品、汽车轮胎模具和光学镜面清洗等方面都取得了很好的效果。随着激光技术的发展，激光器的性能不断提升，已具备将激光清洗技术应用在大面积工业清洗领域的条件。半导体所激光清洗技术采用自主研发的激光器技术，技术指标接近国际同类水平，不同的是国外已有正式的产品，但其价格昂贵，维修不便，进口国内周期较长。而国内没有这方面自主研发的产品，故国内市场还处于空白期，产品具有较强的市场潜力。
