高精度谐振式MEMS压力传感器

应用领域：电子与信息
技术领域：电子信息技术
技术成熟度：通过小试
交易类型：许可转让,技术入股,合作开发
联系人：汇智科技服务平台
联系信息： 010-82648522

成果详情

MEMS谐振式高精度压力传感器已完成在地面气象站的示范应用，它不仅应用于地面气象站的气压观测，还可应用于无人机气压高度计、工业控制压力测量以及压力校验仪等高精度压力测量领域，其需求量巨大。
目前MEMS谐振式压力传感器在国际上仅有2家公司产品，售价贵（0.01%F.S.高达万元以上），国外产品垄断高端压力传感器市场。实现MEMS谐振式压力传感器的国产化，其市场潜力巨大，产业化前景好。

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