本台设备是面向电力电子器件和生物化石应用仪器样机。目前电力电子器件多数为印刷电路板上焊接元件的形式，而大自然中的生物化石由于岩层挤压的缘故多数亦为板状，传统同轴CT系统在板状样本扫描中存在侧方难以穿透的问题，而采取CL扫描方式可以较好的解决这一问题。本系统设计已申请发明专利。

设备性能：

 实现了大型板状样本的高分辨CL扫描方式。

 实现了高分辨率下的大视野扫描。

 样本空间自由度大，扫描样本大小限制较小。

 扫描倾角和样本运动自由度高，可实现多种扫描形式。

 已实现直线式CL扫描，旋转式CL扫描和平移式DR扫描。



  指标               数值

扫描模式             板状断层扫描（CL）

                      直接数字成像（DR）

最大样品尺寸     500mm×500mm

面内空间分辨率     1～20μm

倾斜角                  ≤65°

探测器像素大小     127μm

Max. kV              160/225

Max. mA                1.0