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MEMS器件

MEMS器件


  • 应用领域: 电子与信息
  • 技术领域: 电子信息技术,先进制造技术
  • 技术成熟度: 通过中试
  • 交易类型: 完全转让,许可转让,技术入股
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  • 成果详情
MEMS即微机电系统(Microelectro Mechanical Systems),是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展,已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术,具有广阔的应用前景。


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