高压脉冲放电产生低温等离子技术早在上世纪70年代就成为治理环境污染的一门新型节能技术，是二十一世纪环境科学中四大关键技术之一，在治理污染和节能减排上起到了积极的作用。高压脉冲放电等离子体技术与传统的化学、辐射技术相比具有处理条件简单、耗能少、处理时间短、效率高、无污染等优点。在材料表面处理领域，产生的等离子体对材料表面的作用仅涉及表面的几至几百纳米，在改善材料表面性能的同时又不影响材料的基体性能。
与传统的交流电源激励的放电等离子体相比，脉冲放电能够提供高功率密度、高折合电场强度以积累高能电子电离空气，产生具有高反应效率活性粒子的大气压等离子体。纳秒脉冲的超短上升时间能够抑制火花通道的形成，有利于产生均匀的放电等离子体，能够实现大面积等离子体处理。且脉冲放电可控性较高，脉冲产生等离子体的时间可控制在纳秒至微秒量级，脉冲间隔时间可供等离子体进行充分的物理化学过程，呈现出越来越广阔的应用前景。
