基于MEMS工艺的微型原子腔器件的气密性封装及方法
- 申请号：CN201110107167.4
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 公开(公开)号：CN102205941A
- 公开(公开)日：20111005
- 法律状态：
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专利详情
| 专利名称 | 基于MEMS工艺的微型原子腔器件的气密性封装及方法 | ||
| 申请号 | CN201110107167.4 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN102205941A | 公开（授权）日 | 20111005 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 吴亚明;张志强;李绍良;徐静 |
| 主分类号 | B81B7/00 | IPC主分类号 | |
| 专利有效期 | 基于MEMS工艺的微型原子腔器件的气密性封装及方法 至基于MEMS工艺的微型原子腔器件的气密性封装及方法 | 法律状态 | |
| 说明书摘要 | |||
交易流程
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01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
- 04 上报材料
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05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
- 07 交付证书
过户资料
平台保障
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