一种用于氧化锆陶瓷的化学机械抛光液及其制备方法和用途
- 申请号：CN201711473665.4
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：上海新安纳电子科技有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 公开(公开)号：CN109988507A
- 公开(公开)日：20190709
- 法律状态：
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专利详情
| 专利名称 | 一种用于氧化锆陶瓷的化学机械抛光液及其制备方法和用途 | ||
| 申请号 | CN201711473665.4 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN109988507A | 公开（授权）日 | 20190709 |
| 申请（专利权）人 | 上海新安纳电子科技有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 刘卫丽;王光灵;霍军朝;刘宇翔;宋志棠 |
| 主分类号 | C09G1/02 | IPC主分类号 | |
| 专利有效期 | 一种用于氧化锆陶瓷的化学机械抛光液及其制备方法和用途 至一种用于氧化锆陶瓷的化学机械抛光液及其制备方法和用途 | 法律状态 | |
| 说明书摘要 | |||
交易流程
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专利 -
02
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可交易 - 03 签订合同
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05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
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