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三维垂直单晶体管铁电存储器及其制备方法

  • 申请号:CN201910290800.4
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
  • 公开(公开)号:CN110047844A
  • 公开(公开)日:20190723
  • 法律状态:
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 三维垂直单晶体管铁电存储器及其制备方法
申请号 CN201910290800.4 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN110047844A 公开(授权)日 20190723
申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 殷华湘;侯朝昭;叶甜春;李超雷
主分类号 H01L27/11587 IPC主分类号
专利有效期 三维垂直单晶体管铁电存储器及其制备方法 至三维垂直单晶体管铁电存储器及其制备方法 法律状态
说明书摘要

交易流程

  • 01 选取所需
    专利
  • 02 确认专利
    可交易
  • 03 签订合同
  • 04 上报材料
  • 05 确认变更
    成功
  • 06 支付尾款
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