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一种采用高反膜提高GaN基集成波导的光耦合效率的方法

  • 申请号:CN201811634478.4
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  • 公开(公开)号:CN109713091A
  • 公开(公开)日:20190503
  • 法律状态:
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种采用高反膜提高GaN基集成波导的光耦合效率的方法
申请号 CN201811634478.4 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN109713091A 公开(授权)日 20190503
申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 黎大兵;程东碧;孙晓娟;贾玉萍;石芝铭
主分类号 H01L33/00 IPC主分类号
专利有效期 一种采用高反膜提高GaN基集成波导的光耦合效率的方法 至一种采用高反膜提高GaN基集成波导的光耦合效率的方法 法律状态
说明书摘要

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  • 02 确认专利
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