在球面面形干涉检测中高精度消除离焦误差及倾斜误差的方法
- 申请号：CN201010224887.4
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：浙江大学;中国科学院光电技术研究所
- 公开(公开)号：CN101986097B
- 公开(公开)日：20110316
- 法律状态：
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专利详情
| 专利名称 | 在球面面形干涉检测中高精度消除离焦误差及倾斜误差的方法 | ||
| 申请号 | CN201010224887.4 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN101986097B | 公开（授权）日 | 20110316 |
| 申请（专利权）人 | 浙江大学;中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 沈亦兵;王东升;汪凯巍;许嘉俊;侯溪 |
| 主分类号 | G01B11/24 | IPC主分类号 | |
| 专利有效期 | 在球面面形干涉检测中高精度消除离焦误差及倾斜误差的方法 至在球面面形干涉检测中高精度消除离焦误差及倾斜误差的方法 | 法律状态 | |
| 说明书摘要 | |||
交易流程
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专利 -
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可交易 - 03 签订合同
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