形成铜互连MIM电容器结构的方法
- 申请号：CN201010114118.9
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 公开(公开)号：CN101807517B
- 公开(公开)日：20100818
- 法律状态：
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专利详情
| 专利名称 | 形成铜互连MIM电容器结构的方法 | ||
| 申请号 | CN201010114118.9 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN101807517B | 公开（授权）日 | 20100818 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 肖德元 |
| 主分类号 | H01L21/02 | IPC主分类号 | |
| 专利有效期 | 形成铜互连MIM电容器结构的方法 至形成铜互连MIM电容器结构的方法 | 法律状态 | |
| 说明书摘要 | |||
交易流程
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选取所需
专利 -
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可交易 - 03 签订合同
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确认变更
成功 - 06 支付尾款
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过户资料
平台保障
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