硅片抛光机头吸盘
- 申请号：CN01218504.3
- 专利类型：实用新型
- 申请（专利权）人：中国科学院微电子中心
- 公开(公开)号：CN2470953Y
- 公开(公开)日：20020109
- 法律状态：
- 出售价格： 面议 立即咨询
专利详情
| 专利名称 | 硅片抛光机头吸盘 | ||
| 申请号 | CN01218504.3 | 专利类型 | 实用新型 |
| 公开（公告）号 | CN2470953Y | 公开（授权）日 | 20020109 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子中心 | 发明（设计）人 | 夏洋;张国海;欧文;申作成;钱鹤 |
| 主分类号 | H01L21/304 | IPC主分类号 | |
| 专利有效期 | 硅片抛光机头吸盘 至硅片抛光机头吸盘 | 法律状态 | |
| 说明书摘要 | |||
交易流程
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01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
- 04 上报材料
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05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
- 07 交付证书
过户资料
平台保障
1、源头对接，价格透明
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3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障
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