高P型载流子浓度的氮化镓基化合物薄膜的生长方法
- 申请号:CN01100889.X
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院半导体研究所
- 公开(公开)号:CN1145197C
- 公开(公开)日:20020904
- 法律状态:
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专利详情
专利名称 | 高P型载流子浓度的氮化镓基化合物薄膜的生长方法 | ||
申请号 | CN01100889.X | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN1145197C | 公开(授权)日 | 20020904 |
申请(专利权)人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明(设计)人 | 韩培德;陈振 |
主分类号 | H01L21/205 | IPC主分类号 | |
专利有效期 | 高P型载流子浓度的氮化镓基化合物薄膜的生长方法 至高P型载流子浓度的氮化镓基化合物薄膜的生长方法 | 法律状态 | |
说明书摘要 |
交易流程
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01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
- 04 上报材料
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05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
- 07 交付证书
过户资料
平台保障
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3、合同监控,代办手续
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