在磷化铟衬底上制备T型栅的方法
- 申请号：CN201010577818.1
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院微电子研究所
- 公开(公开)号：CN102569046A
- 公开(公开)日：20120711
- 法律状态：
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专利详情
| 专利名称 | 在磷化铟衬底上制备T型栅的方法 | ||
| 申请号 | CN201010577818.1 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN102569046A | 公开（授权）日 | 20120711 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 黄杰;郭天义;张海英;杨浩 |
| 主分类号 | H01L21/28 | IPC主分类号 | |
| 专利有效期 | 在磷化铟衬底上制备T型栅的方法 至在磷化铟衬底上制备T型栅的方法 | 法律状态 | |
| 说明书摘要 | |||
交易流程
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01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
- 04 上报材料
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05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
- 07 交付证书
过户资料
平台保障
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