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非接触式光刻曝光光学系统

  • 申请号:CN89212805.4
  • 专利类型:实用新型
  • 申请(专利权)人:中国科学院光电技术研究所
  • 公开(公开)号:CN2045126U
  • 公开(公开)日:19890927
  • 法律状态:
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 非接触式光刻曝光光学系统
申请号 CN89212805.4 专利类型 实用新型
公开(公告)号 CN2045126U 公开(授权)日 19890927
申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 郝沛明;周晨波
主分类号 G03F7/20 IPC主分类号
专利有效期 非接触式光刻曝光光学系统 至非接触式光刻曝光光学系统 法律状态
说明书摘要

交易流程

  • 01 选取所需
    专利
  • 02 确认专利
    可交易
  • 03 签订合同
  • 04 上报材料
  • 05 确认变更
    成功
  • 06 支付尾款
  • 07 交付证书

平台保障

1、源头对接,价格透明

2、平台验证,实名审核

3、合同监控,代办手续

4、专员跟进,交易保障

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专利交易流程

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  • 02 确认专利可交易
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