非接触式光刻曝光光学系统
- 申请号：CN89212805.4
- 专利类型：实用新型
- 申请（专利权）人：中国科学院光电技术研究所
- 公开(公开)号：CN2045126U
- 公开(公开)日：19890927
- 法律状态：
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专利详情
| 专利名称 | 非接触式光刻曝光光学系统 | ||
| 申请号 | CN89212805.4 | 专利类型 | 实用新型 |
| 公开（公告）号 | CN2045126U | 公开（授权）日 | 19890927 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 郝沛明;周晨波 |
| 主分类号 | G03F7/20 | IPC主分类号 | |
| 专利有效期 | 非接触式光刻曝光光学系统 至非接触式光刻曝光光学系统 | 法律状态 | |
| 说明书摘要 | |||
交易流程
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01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
- 04 上报材料
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05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
- 07 交付证书
过户资料
平台保障
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障
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