掺杂源供应管路及化学气相沉积系统
- 申请号：CN201710773823.1
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 公开(公开)号：CN109423695A
- 公开(公开)日：20190305
- 法律状态：
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专利详情
| 专利名称 | 掺杂源供应管路及化学气相沉积系统 | ||
| 申请号 | CN201710773823.1 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN109423695A | 公开（授权）日 | 20190305 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 发明（设计）人 | 鞠涛;张立国;李哲;范亚明;张泽洪;张宝顺 |
| 主分类号 | C30B29/36 | IPC主分类号 | |
| 专利有效期 | 掺杂源供应管路及化学气相沉积系统 至掺杂源供应管路及化学气相沉积系统 | 法律状态 | |
| 说明书摘要 | |||
交易流程
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01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
- 04 上报材料
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05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
- 07 交付证书
过户资料
平台保障
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4、专员跟进，交易保障
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