一种纳米结构压印硬模板
- 申请号：CN200910044948.6
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：上海市纳米科技与产业发展促进中心;中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 公开(公开)号：CN101770164A
- 公开(公开)日：20100707
- 法律状态：
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专利详情
| 专利名称 | 一种纳米结构压印硬模板 | ||
| 申请号 | CN200910044948.6 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN101770164A | 公开（授权）日 | 20100707 |
| 申请（专利权）人 | 上海市纳米科技与产业发展促进中心;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 刘彦伯;钮晓鸣;宋志棠;闵国全;周伟民;张静;万永中;张挺;李小丽;张剑平;施利毅;刘波;封松林 |
| 主分类号 | G03F7/00 | IPC主分类号 | |
| 专利有效期 | 一种纳米结构压印硬模板 至一种纳米结构压印硬模板 | 法律状态 | |
| 说明书摘要 | |||
交易流程
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01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
- 04 上报材料
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05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
- 07 交付证书
过户资料
平台保障
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