改善Ⅲ族氮化物MIS-HEMT欧姆接触的方法及MIS-HEMT器件
- 申请号:CN201710212313.7
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 公开(公开)号:CN108695156A
- 公开(公开)日:20181023
- 法律状态:
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专利详情
专利名称 | 改善Ⅲ族氮化物MIS-HEMT欧姆接触的方法及MIS-HEMT器件 | ||
申请号 | CN201710212313.7 | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN108695156A | 公开(授权)日 | 20181023 |
申请(专利权)人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 发明(设计)人 | 李夏珺;张宝顺;蔡勇;于国浩;付凯;张志利;孙世闯;宋亮 |
主分类号 | H01L21/335 | IPC主分类号 | |
专利有效期 | 改善Ⅲ族氮化物MIS-HEMT欧姆接触的方法及MIS-HEMT器件 至改善Ⅲ族氮化物MIS-HEMT欧姆接触的方法及MIS-HEMT器件 | 法律状态 | |
说明书摘要 |
交易流程
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01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
- 04 上报材料
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05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
- 07 交付证书
过户资料
平台保障
1、源头对接,价格透明
2、平台验证,实名审核
3、合同监控,代办手续
4、专员跟进,交易保障
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