一种耐活性氧腐蚀的衬底加热装置
- 申请号：CN200610113604.2
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院物理研究所
- 公开(公开)号：CN100441734C
- 公开(公开)日：20070321
- 法律状态：
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专利详情
| 专利名称 | 一种耐活性氧腐蚀的衬底加热装置 | ||
| 申请号 | CN200610113604.2 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN100441734C | 公开（授权）日 | 20070321 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院物理研究所 | 发明（设计）人 | 李含冬;杜小龙;梅增霞;曾兆权;袁洪涛;王喜娜;董靖;张天冲;薛其坤 |
| 主分类号 | C23C14/50 | IPC主分类号 | |
| 专利有效期 | 一种耐活性氧腐蚀的衬底加热装置 至一种耐活性氧腐蚀的衬底加热装置 | 法律状态 | |
| 说明书摘要 | |||
交易流程
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01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
- 04 上报材料
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05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
- 07 交付证书
过户资料
平台保障
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