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用于确定临近催化化学气相沉积中催化剂的热形变的装置和方法

  • 申请号:CN201711295337.X
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学技术大学
  • 公开(公开)号:CN108048815A
  • 公开(公开)日:20180518
  • 法律状态:
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 用于确定临近催化化学气相沉积中催化剂的热形变的装置和方法
申请号 CN201711295337.X 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN108048815A 公开(授权)日 20180518
申请(专利权)人 中国科学技术大学 发明(设计)人 郭国平;杨晖;李海欧;曹刚;郭光灿
主分类号 C23C16/26 IPC主分类号
专利有效期 用于确定临近催化化学气相沉积中催化剂的热形变的装置和方法 至用于确定临近催化化学气相沉积中催化剂的热形变的装置和方法 法律状态
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