Mg-Sb共掺杂p型ZnO薄膜的制备方法
- 申请号:CN200610003121.7
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院半导体研究所
- 公开(公开)号:CN101022141A
- 公开(公开)日:20070822
- 法律状态:
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专利详情
专利名称 | Mg-Sb共掺杂p型ZnO薄膜的制备方法 | ||
申请号 | CN200610003121.7 | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN101022141A | 公开(授权)日 | 20070822 |
申请(专利权)人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明(设计)人 | 王鹏;陈诺夫;尹志岗 |
主分类号 | H01L33/00 | IPC主分类号 | |
专利有效期 | Mg-Sb共掺杂p型ZnO薄膜的制备方法 至Mg-Sb共掺杂p型ZnO薄膜的制备方法 | 法律状态 | |
说明书摘要 |
交易流程
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01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
- 04 上报材料
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05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
- 07 交付证书
过户资料
平台保障
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