极紫外辐照材料测试系统的真空获得装置及相应测试方法
- 申请号：CN201510076613.8
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院光电研究院
- 公开(公开)号：CN104597115B
- 公开(公开)日：20150506
- 法律状态：
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专利详情
| 专利名称 | 极紫外辐照材料测试系统的真空获得装置及相应测试方法 | ||
| 申请号 | CN201510076613.8 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN104597115B | 公开（授权）日 | 20150506 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 陈进新;王宇;吴晓斌;谢婉露;王魁波;崔惠绒 |
| 主分类号 | G01N27/64 | IPC主分类号 | |
| 专利有效期 | 极紫外辐照材料测试系统的真空获得装置及相应测试方法 至极紫外辐照材料测试系统的真空获得装置及相应测试方法 | 法律状态 | |
| 说明书摘要 | |||
交易流程
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01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
- 04 上报材料
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05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
- 07 交付证书
过户资料
平台保障
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障
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