专利详情

专利名称	一种线阵图像式角位移测量装置的标定光栅监测系统
申请号	CN201910256839.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN109974627A	公开（授权）日	2019.07.05
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	于海; 万秋华; 孙莹; 卢新然; 杜颖财
主分类号	G01B11/26	IPC主分类号	G01B11/26
专利有效期	一种线阵图像式角位移测量装置的标定光栅监测系统至一种线阵图像式角位移测量装置的标定光栅监测系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种线阵图像式角位移测量装置的标定光栅监测系统，属于光电位移精密测量技术领域，其中标定光栅安装在线阵图像式角位移测量装置的主轴上，并由主轴带动标定光栅转动；线阵图像传感器安装在处理电路模块上，处理电路模块固定在支架上，平行光源发出的平行光照射并透过标定光栅上的基准标线，并投影在线阵图像传感器上；线阵图像传感器采集标定光栅的基准标线图像，处理电路模块对基准标线图像进行处理后输出至示波器，示波器显示合成波形。调试人员根据该合成波形就能够简单、便捷的判定当前标定光栅是否存在偏心误差和判断标定光栅是否存在污渍，为调试人员提供了一种简单、便捷的标定光栅安装调试工具，提高了标定光栅的调试效率。