专利详情

专利名称	激光器的侧边耦合光栅及其制备方法、包含其的激光器
申请号	CN201610251536.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107306011A	公开（授权）日	2017.10.31
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	徐云;宋玉志;宋甲坤;张祖银;陈良惠
主分类号	H01S5/12(2006.01)I	IPC主分类号	H01S5/12(2006.01)I
专利有效期	激光器的侧边耦合光栅及其制备方法、包含其的激光器至激光器的侧边耦合光栅及其制备方法、包含其的激光器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种激光器的侧边耦合光栅的制备方法，包括步骤1：刻蚀制备激光器脊条波导，在脊条波导样品上做好电子束光刻对准标记并涂上光刻胶；步骤2：对涂上光刻胶的脊条波导两侧进行初步电子束曝光；步骤3：确定电子束曝光后的光栅掩膜与脊条波导的距离偏差，并在光栅版图中修正这一偏差；步骤4：利用修正的光栅版图对样品进行正式电子束曝光并显影；步骤5：溅射金属并进行剥离，形成侧边耦合光栅。通过该制备方法，能够制备紧靠脊条波导的完美反馈光栅，为激光器的分布反馈选模提供良好的结构基础，并减少了电子束曝光的时间，降低成本。