专利详情

专利名称	一种二氧化锡复合涂层及其制备方法
申请号	CN201710533515.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107298583A	公开（授权）日	2017.10.27
申请（专利权）人	中科院微电子研究所昆山分所	发明（设计）人	杜勇;王广欣;崔立虎
主分类号	C04B35/457(2006.01)I	IPC主分类号	C04B35/457(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I
专利有效期	一种二氧化锡复合涂层及其制备方法至一种二氧化锡复合涂层及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种二氧化锡复合涂层及其制备方法，所述二氧化锡复合涂层的制备方法包括以下步骤：a)将二氧化锡和石墨烯混合，依次进行等静压成型和烧结，得到石墨烯/SnO₂复合陶瓷靶材；b)将步骤a)得到的石墨烯/SnO₂复合陶瓷靶材进行磁控溅射，得到二氧化锡复合涂层。与现有技术相比，本发明采用石墨烯对二氧化锡进行掺杂改性，通过控制制备工艺及参数条件，提高石墨烯的掺杂率、减少杂质，并且制备得到的二氧化锡复合涂层厚度均匀，对气敏材料性能的提升有重要意义。实验结果表明，本发明制备得到了石墨烯掺杂的二氧化锡复合涂层，掺杂率高且杂质少；所述二氧化锡复合涂层的厚度均匀，为1μm～5μm。